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反射镜

紫外用铝膜增反射平面反射镜

紫外用铝膜增反射平面反射镜
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详细描述

 
  • 提高了200—300nm 紫外波长范围的反射率,并加镀了防止划痕和铝膜劣化的保护膜。

  • 受入射角影响小,方便紫外光的光路设计。

  • 可用于UV露光装置,分光分析装置,DUV影像系统

注意

  • 反射率曲线是样品的实测值,实际值可能随制造批次不同而有所变化。

  • 检查光路和调整光轴时,请一定戴好激光防护镜。

  • 面精度是镀膜前的反射波面精度。镀膜后的反射波面精度将会有变化。

材料 BK7
镀膜 AL+ 多层电介质膜
基板面精度测定法 采用ZYGO公司激光干涉仪测量
面精度测量用波长 632.8nm
基板面精度 λ/10
平行度 小于3分
表面质量 40-20
有效尺寸范围 90%

 

点击次数:  更新时间:2018-04-29 17:31:37  【打印此页】  【关闭